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“陈总,你真的太牛了,我们一开始还担心你的更改有问题,结果完成总装之后,发现他居然可以完美运行,而且稍微调试了一下,竟然也没有任何的问题!”
“那个时候起,我就知道,这台光刻机,确实起死回生了,而且使用的很多零件,都是我们可以买到的,简直不可思议!”
“当然,虽然总体的设计没有问题,但是在光源和反射镜这两个重中之重的方面,我们还是选择舍弃了你的方案,改用了我们自己的配置!”
“结果,竟然运行的相当完美,精度甚至超越了以前的极限,精度达到了28nm,经过多重曝光之后,已经达到了恐怖的14nm。”
听到14nm的精度,其实陈凡自己也挺吃惊的,因为他详细了解过,这已经算是一个天花板,完全能够进入第二梯队的光刻机。
在光刻机这个领域,MLAS是当之无愧的王者,他们的精度甚至能够达到10nm以下,同时也是全球唯一能够达到这个精度的厂商,几乎垄断了第一梯队的光刻机。
而第二梯队的光刻机,直接就被拉开了差距,是来自樱花国的两个厂商,一个叫做康尼,一个叫做能佳,同样也是光刻机里面的翘楚。
这三大厂商,已经垄断了市面上光刻机大部分的份额,比例高达99%,说是一统天下也没有任何问题。
而在光刻机的精度方面,MLAS因为背靠米国,拥有最为强大的科技背景,而且发展的时间最为久远,精度方面一骑绝尘,能够达到7nm,可以说是相当的恐怖!
处于第二梯队的两家公司,实力自然也是不能小觑的,康尼生产的浸入式光刻机,标称精度是28nm,经过多重曝光之后,可以用于14nm精度的芯片生产!
而能佳就稍微差了一点,标称精度是90nm,经过多重曝光之后,最多能够生产28nm精度的芯片。
国内的情况就更加凄惨了,民营方面只剩下紫光一家研究所,当年最巅峰的时候,也就和能佳持平,不过由于光源不太稳定,经过多重曝光之后,良品率直线下降,导致成本偏高。
所以,虽然理论上的精度极限是28nm,实际生产当中,基本上只能当做90nm来使用!
而这个不稳定的结构,已经被陈凡解决了,而且经过陈凡的一些改动,精度再一次得到了提升,直接追平了世界第二的康尼。
“没想到表现的如此优秀,我自己倒是没有想到,原本的想法只是让结构更加稳定,能够稳定的进行多重曝光机就行了,没想到精度还能更上一层楼,简直是意外之喜!”
说到这里,李守业和江秀文就出来解释了,因为现在的紫光研究所拥有了一定的资金,所以他们更换了更加先进的光源和物镜,加上陈凡改造以后的光刻机又相当的稳定,所以才能够达到如今的精度。
“陈总,如果没什么问题的话,我们打算用这台仪器,先制作一批高精度的样品,看看在长时间开机的情况下,能否保持稳定。”
这个时候,陈凡摇了一摇头,掏出了随身携带的U盘,“制作样品太浪费了,我这里正好有一颗芯片要生产,你们先做个试样出来,如果顺利的话,直接投产吧。”
接过U盘,姜汉文也没有多问,相对于一开始的时候,陈凡每次拿出新的东西,他们都要震惊的日子,姜汉文包括他们整个团队,都已经习以为常了。
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